一、测试前准备
1、样品预处理
确保压电样品（如压电陶瓷、单晶）已完成极化处理，且确认其耐高温上限（避免测试中发生相变或性能退化，如超过居里温度）。
清洁样品表面，去除油污或杂质，必要时使用耐高温粘结剂（如高温环氧）固定电极，防止高温下电极脱落。
2、设备选型
需选用适配高温环境的专用设备，如佰力博HTS高温压电温谱测试系统（RT-800℃）相对传统的d33测量仪，HTS系列压电温谱仪出厂前对力和电荷进行计量校对，确保测量准确 行和可靠性，得到清华、上硅所、南航等行业客户高度认可，可广泛用于压电材料（压电陶瓷、高分子）、铁电材料以及相关器件性能的评价与测量。

二、测试系统搭建
环境控制
优先使用封闭温控炉（带透明观察窗），避免高温气流干扰；若需真空环境（防止样品氧化），可搭配真空腔体。
连接温度传感器（如热电偶），确保探头紧贴样品表面，实时反馈真实温度（避免炉内温度与样品温度偏差）。
信号通路优化
使用耐高温导线（如聚酰亚胺涂层导线）连接样品与测量仪器，减少高温下的信号衰减或短路。
对测量仪器（如电荷放大器）进行温漂校准，通过空白实验（无样品时测量背景信号）排除环境温度对仪器的影响。
三、核心测试流程
以常见的压电系数d33测试为例：
升温与稳定
按缓慢速率升温（如 5-10℃/min），避免样品因热冲击产生裂纹；每到达一个目标温度点（如 50℃、100℃、150℃...），保温10-30min，确保样品温度与环境温度完全平衡。
参数测量
压电系数d33：使用高温适配的准静态d33测量仪，将探头轻压样品表面（压力恒定，避免高温下压力变化），记录不同温度下的d33值。
四、数据处理与分析
数据校准
扣除空白实验中的背景信号（如高温下夹具的寄生电容），修正测量值；若样品存在热膨胀，需结合热膨胀系数（提前测量）修正几何尺寸对参数的影响。